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> 아이디어 제안 > 공모주제
제목 A DRAM 스케일링 한계극복을 위한 새로운 셀 구조
첨부파일    조회수 2094

[개요 및 필요성]

○ Conventional 6F2 Cell 스케일링한계에 따른 새로운 구조 필요성

 - 현재의 DRAM Cell 구조를 유지하며 단순 Technology Node 스케일링에 의존하는 기존 제품 개발 플랫폼 양산에

   필요한 공정 마진 부족 및 소자 특성 열화뿐만 아니라 제품 생산 수익성 확보에도 어려움이 예상되는 등 한계를

   맞이하고 있음

   ※ 현재 6F2 Cell (Word line & Bit line Pitch ~ 50nm)



[요구조건]

○ 제안서 포함 필요 내용

 - 스케일링 친화적인 새로운 DRAM Cell 레이아웃 간단한 동작 방법

 - 새로운 DRAM Cell 구조에 대한 개략적인 Process Flow 제안

 - 전체 레이아웃에 대한 신규제안뿐만 아니라 일부 공정에 대한 신규 구조 및 물질 적용방법에 관한 제안도 가능


○ 목표 수준

 - WL 및 BL pitch ~ 30nm 수준에서 구현 및 동작 가능

   Ex) Scaled dimension에서 공정 및 소자 개선 포인트를 명확하게 제시

   Ex) 공정 수 감소, 공정 마진 (Contact 면적, short/open 마진, Cs/Cb 등) 개선

 - 신규 구조에서 DRAM Cell 기본 특성 (tREF, data read/write 마진)을

   유지하거나 개선할 수 있는 개념이 포함되면 가점 가능


○ 선정 제외 아이디어

 - 공정 스텝 수 또는 비용이 너무 많이 증가하는 아이디어

 - 적용된 개념이 현실성이 현저히 부족한 아이디어 (ex, 존재할 수 없는 물질 특성)

제출 시
주의 사항

[아이디어 제출에 관한 주의 사항]

- 아이디어 제출은 반드시 정해진 제안서 양식으로 작성(5페이지 이하, 용량 10MB 이하)해야 하며,

  해당 양식을 사용하지 않은 제안서는 심사 대상에서 제외됨

- 제안서는 해당 접수 기간 내에 공모전 홈페이지를 통해 제출하고, 접수 기간이 지나 접수된 제안서는 심사에서 제외됨

- 제안서 파일명은 [주제 알파벳(A-H)_제안명.doc, 주제 알파벳(A-H)_제안명.hwp]으로 생성 및 등록 요망

- 동일인이 복수 제안 가능함

- 접수 마감 전까지는 홈페이지(나의 접수 내역/수정)에서 수정할 수 있으며, 마감 이후에는 수정 불가함

- 공동 제안자가 있는 경우 '개인정보 이용동의서'를 인쇄하여 서명 후 스캔 파일을 반드시 첨부해야 함

  (개인 단독 참여의 경우는 회원가입 시 개인정보 이용 동의 절차로 갈음함)